对于透明薄膜厚度(通常需要大于200-300nm以上), 可以用FTG免费软件计算(呵呵, 计算精度? 具体请参考文献说明文档, 个人认为通常取决于n,k设置, 对于所以波段使用固定n, k值, 存在误差, 但是通常对于要求不太精确的情况下也可以忍受), 现在功略已由zmliu(tianrens)整理出来.
功略文档以及文献说明请见:
http://xbzhangcn.googlepages.com/%E5%AD%98%E6%A1%A3
The Film Thickness Module includes both fringe counting and the FFT technique. It may be downloaded freely and without restrictions from web site
http://www.ftgsoftware.com
星期三, 一月 24, 2007
厚度模拟FTG使用功略----by zmliu
发帖者
xiAoBo
时间:
11:37 上午
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